吸附法（活性炭）：投資小、工藝簡單，易飽和，必須與脫附、冷凝、焚燒等方法聯用才能滿足排放要求。
冷凝法：與吸收、吸附等方法聯用，將有機廢氣吸附濃縮后冷凝、分離，回收其中有價值的有機物。此法適用濃度高、風量小的有機廢氣處理場合。缺點是：投資、能耗、運行費用高，冷凝回收物提純處理后，仍有相當部分液態(tài)廢棄物需要進一步處理。該方案與生產設備、生產工藝存在匹配關系，偏離這種匹配關系將提高治理成本，影響治理效果。
沸石轉輪濃縮+焚燒法：沸石轉輪濃縮設備基本依靠進口，自主產品尚不成熟。該方案同樣與生產設備、生產工藝存在匹配關系。
低溫等離子、光催化氧化法：揮發(fā)性有機物處理效率低，只能作為輔助性的治理手段。
此外，高溫等離子技術目前正在研發(fā)中，高溫等離子技術是高頻（30KHz）高壓（100KV）大功率電源在特定條件下的聚能放電，產生3千℃等離子態(tài)高溫氣流。
有機廢氣在反應器中經過壓縮、高壓聚能放電成為高溫等離子體。反應器壓力增高，氣體體積急劇膨脹，在高溫、高電勢的雙重作用下，有機廢氣瞬間（萬分之5秒）成為高溫等離子體，其中長分子鏈裂解成單質原子，有機物清除率大于98%。
高溫等離子焚燒裝置無需濃縮，便可直接處理低濃度、大風量有機廢氣。每處理1萬立方米/小時有機廢氣，僅消耗10kW電力。
從資金投入和營運成本考量，高溫等離子技術要優(yōu)于濃縮吸附+RTO焚燒方案。
 
焚燒法（RTO）：能耗大、運行成本高，適合處理高濃度、小風量有機廢氣。