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基于MEMS技術(shù)的催化燃燒氣體傳感器
摘 要:在石油、化工企業(yè),以及地下燃?xì)夤艿馈⒓佑驼镜鹊胤?,容易存在可燃?xì)怏w泄露的隱患。傳統(tǒng)的方法是用催化燃燒氣敏元件來檢測可燃?xì)怏w的泄露,隨著智能物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展,越來越多的研究者研究MEMS可燃?xì)怏w傳感…
摘 要:在石油、化工企業(yè),以及地下燃?xì)夤艿馈⒓佑驼镜鹊胤?,容易存在可燃?xì)怏w泄露的隱患。傳統(tǒng)的方法是用催化燃燒氣敏元件來檢測可燃?xì)怏w的泄露,隨著智能物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展,越來越多的研究者研究MEMS可燃?xì)怏w傳感…